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焊接精密度5μm

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半导体、玉石、陶瓷等材料的磨料冲击超声(二)
来源: | 发布日期:2022-12-12

②加工精度及其影响因素。超声加工的精度,除受机床、夹具精度影响之外,主要与磨料粒度、工具精及其磨损情况、工具横向振动大小、加工深度、被加工材料性质等有关。一般加工孔的尺寸精度可达±(0.02~0.05)mm。


a. 孔的加工范围。在通常加工速度下,超声加工最大孔径和所需功率的大致关系见表6-2。一般超声加工的孔径范围约为0.1~90mm,深度可达直径的10~20倍以上。


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b. 加工孔的尺寸精度。当工具尺寸一定时,加工出孔的尺寸将比工具尺寸有所扩大,加工出孔的最小直径Dmin约等于工具直径Dt,加所用磨料磨粒平均直径13 的两倍,即


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超声加工孔的精度,在采用240#~280# 磨粒时,一般可达±0.05mm;采用W28~W7磨粒时,可达±0.02mm或更高。


此外,对于加工圆形孔,其形状误差主要有圆度和锥度。圆度大小与工具横向振动大小和工具沿圆周磨损不均匀有关。锥度大小与工具磨损量有关。如果采用工具或工件旋转的方法,可以提高孔的圆度和生产率。


③表面质量及其影响因素。超声加工具有较好的表面质量,不会产生表面烧伤和表面变质层。


超声加工的表面粗糙度也较好,一般可在Ra1~0.1μm之间,取决于每粒磨粒每次撞击工件表面后留下的凹痕大小,它与磨料颗粒的直径、被加工材料的性质、超声振动的振幅以及磨料悬浮工作液的成分等有关。


当磨粒尺寸较小、工件材料硬度较大、超声振幅较小时,加工表面粗糙度将得到改善,但生产率则随之降低。


磨料悬浮工作液体的性能对表面粗糙度的影响比较复杂。实践表明,用煤油或润滑油代替水可使表面粗糙度更有所改善。



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