影响灵高超声波加工速度的因素

       影响灵高超声波的加工速度主要因素为工具振动频率，振幅，工具和工件间的静压力，磨料的种类和粒度，磨料悬浮液的浓度，供给及循环方式，工具与工件材料，加工面积，加工速度等。

①工具的振幅和频率

       过大的振幅和过高的频率会使工具和变幅杆承受很大的内应力，可能超过它的疲劳强度而降低使用寿命，而且在连接处的耗损也增大，因此一般振幅为0.01~0.1mm,频率在16000~25000Hz之间，实际加工中应调至共振频率，以获得最大的振幅。

②进给压力

       加工时工具对工件应有一个合适的进给压力，压力过小，则工具末端与工件加工表面间的间隙增大，从而减弱了磨料对工件的撞击力合打击深度：压力过大，会使工具与工件间隙减小，磨料和工作液不能顺利循环更新，都将降低生产率。一般而言，加工面积小时，加工面积小时，单位面积最佳精压力可较大。例如，采用圆形实心工具在玻璃上加工孔时，加工面积在5~13mm2范围内，其最佳静压力约为400kPa,当加工面积在20mm2以上时，最佳静压力约为200~300kPa,当加工面积在20mm2以上时，最佳静压力约在200~30kPa之间。

③磨料的种类和粒度

       磨料硬度越高，加工速度越快，但要考虑价格成本。加工金刚石和宝石等超硬材料时，必须用金刚石磨料；加工硬质合金、淬火钢等高硬脆性材料时，直采用硬度较高的碳化硼磨料；加工硬度不太高的硬材料时，可采用碳化硅：至于加工玻璃、石英、半导体等材料时。用刚玉之类氧化铝（Al2O3）作磨料即可。另外，磨料粒度越粗，加工速度越快，但精度和表面粗糙度则变差。

④磨料悬浮浓度

       磨料悬浮液浓度低，加工间隙内磨粒少，特别在加工面积和深度较大时可能造成加工区局部无磨料的现象，使加工速度大大下降。随着悬浮液中磨料浓度的增加，加工速度也增加。但浓度太高时，磨粒在加工区域的循环运动和对工件的撞击运动受到影响，又会导致加工速度降低，通常采用的浓度为磨料对水的质量比约0.5~1左右；

⑤被加工材料

       被加工材料愈脆，则承受冲击载荷的能力愈低，因此愈易被去除加工；反之韧性较好的材料则不易加工，如以玻璃的可加工性（生产率）为100%。则锗、硅半导体单晶为200%~250%，石英为50%，硬质合金为2%~3%，淬火钢为1%，不淬火钢小于1%。

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