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影响灵高超声波的加工速度主要因素为工具振动频率,振幅,工具和工件间的静压力,磨料的种类和粒度,磨料悬浮液的浓度,供给及循环方式,工具与工件材料,加工面积,加工速度等。
①工具的振幅和频率
过大的振幅和过高的频率会使工具和变幅杆承受很大的内应力,可能超过它的疲劳强度而降低使用寿命,而且在连接处的耗损也增大,因此一般振幅为0.01~0.1mm,频率在16000~25000Hz之间,实际加工中应调至共振频率,以获得最大的振幅。
②进给压力
加工时工具对工件应有一个合适的进给压力,压力过小,则工具末端与工件加工表面间的间隙增大,从而减弱了磨料对工件的撞击力合打击深度:压力过大,会使工具与工件间隙减小,磨料和工作液不能顺利循环更新,都将降低生产率。一般而言,加工面积小时,加工面积小时,单位面积最佳精压力可较大。例如,采用圆形实心工具在玻璃上加工孔时,加工面积在5~13mm2范围内,其最佳静压力约为400kPa,当加工面积在20mm2以上时,最佳静压力约为200~300kPa,当加工面积在20mm2以上时,最佳静压力约在200~30kPa之间。
③磨料的种类和粒度
磨料硬度越高,加工速度越快,但要考虑价格成本。加工金刚石和宝石等超硬材料时,必须用金刚石磨料;加工硬质合金、淬火钢等高硬脆性材料时,直采用硬度较高的碳化硼磨料;加工硬度不太高的硬材料时,可采用碳化硅:至于加工玻璃、石英、半导体等材料时。用刚玉之类氧化铝(Al2O3)作磨料即可。另外,磨料粒度越粗,加工速度越快,但精度和表面粗糙度则变差。
④磨料悬浮浓度
磨料悬浮液浓度低,加工间隙内磨粒少,特别在加工面积和深度较大时可能造成加工区局部无磨料的现象,使加工速度大大下降。随着悬浮液中磨料浓度的增加,加工速度也增加。但浓度太高时,磨粒在加工区域的循环运动和对工件的撞击运动受到影响,又会导致加工速度降低,通常采用的浓度为磨料对水的质量比约0.5~1左右;
⑤被加工材料
被加工材料愈脆,则承受冲击载荷的能力愈低,因此愈易被去除加工;反之韧性较好的材料则不易加工,如以玻璃的可加工性(生产率)为100%。则锗、硅半导体单晶为200%~250%,石英为50%,硬质合金为2%~3%,淬火钢为1%,不淬火钢小于1%。
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