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半导体、玉石、陶瓷等材料的磨料冲击超声(一)
来源: | 发布日期:2022-12-08

(1) 磨料冲击超声加工装置及磨料供给系统

磨料冲击超声加工装置主要由超声波发生器超声振动系统、磨料供给系统、工作压力传动系统及工作台等部分组成。图6-1为磨料冲击超声加工示意图。在磨料冲击超声加工过程中,磨料在加工区域内的供给是否充分,直接影响到加工的效率和质量。由于磨料在加工中起着举足轻重的作用,因此,采用什么样的形式向加工区有效地供给磨料是非常值得重视的。图6-2是一种较实用的磨料供给装置。


云浮超声波

 

由图6-2可以看出,在泵的作用下,通过调节控制阀,使磨料连续不断地从变幅杆和工具头的中心孔输送入加工区,或另辟蹊径将磨料通过工件送入加工区,保证加工区的磨料循环通畅无阻。这种磨料供给系统的作用十分明显,尤其在深孔加工时仍能保持较高的速度进行加工。


(2) 影响磨料冲击超声加工的效率、精度和表面质量的因素

①加工速度及其影响。加工速度是指单位时间内去除材料的多少,单位通常以g/min或mm3/min表示。玻璃的最大加工速度可达2000~4000mm3/min


影响加工速度的主要因素有工具振动频率,振幅,工具和工件间的静压力,磨料的种类和粒度,磨料悬浮液的浓度,供给及循环方式,工具与工件材料,加工面积,加工速度等,如表6-1所示。


表6-1 超声加工速度的影响因素

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