根据清洗液的种类，超声清洗设备分为两大类，即使用水溶性为清洗溶液的清洗设备和使用有机溶剂的超声气相清洗机。

① 使用水溶性为清洗溶液的清洗设备。这类超声清洗从使用频率上又可分成低频、高频、双频和调频等。低频超声清洗频率一般从15〜25kHz左右。其空化阈低，气泡数目较少，但爆破力较强，清洗时间短，渗透作用较弱，且噪声较高，适宜清洗较大或较重的物件或较厚的污渍。

高频超声清洗频率一般在30kHz以上，其空化阈低，超声气泡数目较多，声波可深入渗透细孔，狭缝等隐蔽处。清洗时间比低频长。适宜于清洗轻便、精细或较复杂的元件或组合件。

双频超声波清洗的低频工作频率为25〜28kHz,高频一般为46〜48kHz。由于使用了双频超声波，使清洗缸内驻波场均匀度得到了一定的提高，从而改善了清洗效果。

由于单频超声清洗缸内形成驻波场，双频清洗有所改善，但在某些点还不可避免地有驻波节点，如果采用了调频清洗，且有一定的带宽，则声波场的均匀度会更好。

②使用有机溶剂的超声气相清洗机。使用有机溶剂时，通常先加热清洗剂使之沸腾产生蒸汽，把工件放到清洗机的蒸汽区内，冷工件碰到蒸汽产生凝露，并与工件表面污物产生作用，随着液滴下落而带走污物，然后把工件浸入超声波清洗缸中，通过强烈的超声空化作用进行二次清洗，再用蒸馏回收的洁净清洗液进行喷枪，喷淋并冲洗掉表面的残存污物，最后把工件停留在蒸汽区中进行干燥。

超声气相清洗选用有机溶剂作为清洗液，具有极强的溶解污垢的能力，再经超声清洗后功能更显著。目前普遍使用的清洗液是氟利昂F113,它通过不同配方有多种共沸物，供不同清洗对象使用。