(1) 磨料冲击超声加工装置及磨料供给系统

磨料冲击超声加工装置主要由超声波发生器、超声振动系统、磨料供给系统、工作压力传动系统及工作台等部分组成。图6-1为磨料冲击超声加工示意图。在磨料冲击超声加工过程中，磨料在加工区域内的供给是否充分，直接影响到加工的效率和质量。由于磨料在加工中起着举足轻重的作用，因此，采用什么样的形式向加工区有效地供给磨料是非常值得重视的。图6-2是一种较实用的磨料供给装置。

由图6-2可以看出，在泵的作用下，通过调节控制阀，使磨料连续不断地从变幅杆和工具头的中心孔输送入加工区，或另辟蹊径将磨料通过工件送入加工区，保证加工区的磨料循环通畅无阻。这种磨料供给系统的作用十分明显，尤其在深孔加工时仍能保持较高的速度进行加工。

(2) 影响磨料冲击超声加工的效率、精度和表面质量的因素

①加工速度及其影响。加工速度是指单位时间内去除材料的多少，单位通常以g/min或mm³/min表示。玻璃的最大加工速度可达2000~4000mm³/min。

影响加工速度的主要因素有工具振动频率，振幅，工具和工件间的静压力，磨料的种类和粒度，磨料悬浮液的浓度，供给及循环方式，工具与工件材料，加工面积，加工速度等，如表6-1所示。

表6-1 超声加工速度的影响因素